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YQDH-500ZZS中慧箱式电子束蒸发镀膜机
]资料
产品名称:
YQDH-500ZZS中慧箱式电子束蒸发镀膜机
产品型号:
YQDH-500ZZS
产品展商:
中慧
产品文档:
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简单介绍
产品简介
适用于制备导电薄膜，半导体薄膜、铁电薄膜、光学薄膜，***薄膜研究及新材料****工作。其主要特点为功能强、镀膜稳定、重复性好、操作简便。
YQDH-500ZZS中慧箱式电子束蒸发镀膜机
的详细介绍
箱式电子束蒸发镀膜机
型号：YQDH-500ZZS
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货号：ZH5496
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产品简介
适用于制备导电薄膜，半导体薄膜、铁电薄膜、光学薄膜，***薄膜研究及新材料****工作。其主要特点为功能强、镀膜稳定、重复性好、操作简便。
主要参数
1、镀膜室体积：500×500×600mm3，**规格可定做；
2、限真空度：6.7×10-5 Pa，恢复真空：从大气抽至6.7×10-4 Pa ≤（40分钟）；
3、真空抽气系统：机械泵与复合分子泵组成；真空测量系统：复合数显真空计；
4、蒸发源：电子束蒸发源：270°E型电子枪及高压电源，电子枪功率0～6KW可调；
电阻蒸发源：铜水冷电4根，功率：3kW/10V两组；
5、结构形式：立式前开门后置抽气系统；
6、工件烘烤温度：室温～800℃可控可调（PID控温）；
7、旋转夹具：公转或行星公自转夹具。速度从 0r～30r/min *可调；
8、选配件：光学膜厚测量系统、石英晶振测厚仪、高压离子轰击、霍尔离子源、冷却水机组等；
9、供电电源：三相AC380V，50Hz；整机功率22KW。
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