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测试硅锭、棒、回炉料体电阻率
电阻率测试仪基于涡流（Eddy Current）测试，能够对硅料、硅棒、硅锭及硅片进行*接触、*损伤的体电阻率测试。
主要特点
采用涡流法测试硅锭、棒、回炉料体电阻率
*接触、*损伤快速测试
测试前*需表面处理
**对于多晶，能够**避免晶界对测试的影响
测试范围：0.01-100 ohm.cm (分段测试）
可选加*接触PN型号测试功能

用户可定义分类范围


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